PT2000-450L
设备的工作参数是由放电功率、进气量、处理时间、腔体内温度等组成，主要性能如下：
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项目
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性能参数
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设备总重
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约900Kg
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额定功率
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额定功率3KW,峰值功率12KW
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处理层数
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13层
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腔体容积
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长X宽X高=800mmX700mmX900mm
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单层处理最大面积
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长X宽=850mmX600mm 约0.5M
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单层处理最大面积
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6.5M
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单层处理时间
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10-20分钟
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处理真空度
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30-100Pa 可调
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可抽极限压力
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4.0X10Pa
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抽真空时间
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约一分钟
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等离子发生器功率
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2-6KW 可调
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等离子发生器频率
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40KHz＋100Hz
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流量计调节范围
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0-1000毫升/分钟 可调
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温度调节范围
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20-200°C 可调
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