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等离子清洗机是如何达到清洗的效果

2019-11-18

       等离子清洗机在现在的工业生产中起到很重要的作用,现在等离子清洗机在很多企业中都是不可缺少的清洗设备。等离子清洗不需要添加任何溶剂,且无有害物质产生,也通常被叫做环保型的干式清洗,那么等离子清洗机是如何达到清洗的效果呢?

       等离子体清洗原理:通过化学或物理作用对工件表面进行处理,实现分子水平的污染物去除(一般厚度为几个~几十个nm)。被清除的污染物可能为有机物、环氧树脂、光刻胶、氧化物、微颗粒污染物等。对应不同的污染物,应采用不同的清洗工艺。按照清洗原理可以分为:物理清洗和化学清洗。

       物理清洗:表面作用以物理反应为主的等离子体清洗,也叫溅射腐蚀(SPE)。一般用于去除氧化物、环氧树脂溢出或是微颗粒污染物。

       化学清洗:表面作用以化学反应为主的等离子体清洗,又称PE。

       在正常的清洗过程中物理清洗与化学清洗时同时存在的,可以根据具体要求选择不同的工艺气体。


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